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三.国内现状我国在科技部.国家自然基金委.教育部和总设备部的扶持辅佐下.一贯在跟踪国外的微型机械研究.积极睁开MEMS的研究.现有的微电子设备和同步加速器为微系统供给了根底前提.微细驱动器和微型机械人的斥地早已列入国家863高手艺筹算及攀缘筹算B中.已有近40个研究小组.获得了以下一些研究功能.广东工业除夜学与日本筑波除夜学合作.睁开了生物和医用微型机械人的研究.已研制出一维.二维联动压电陶瓷驱动器.其位移规模为10μm×10μm,位移分说率为0.01μm.精度为0.1μm.正在研制6自由度微型机械人,长春景学周详机械研究所研制出直径为Φ3mm的压电电机.电磁电机.微测试仪器和微操作系统.上海冶金研究所研制出了微电机.多晶硅梁结构.
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